光刻烤胶机(烤胶台)百科
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光刻烤胶机是一种用于半导体制造过程中的设备，主要用于涂覆光刻胶和对晶圆片进行热处理。它的工作原理是将光刻胶涂在晶圆片表面，然后通过高温、高压的方式使光刻胶固化，形成图形。接下来，芯片会被放入曝光机中进行曝光，使未固化的光刻胶暴露出来，从而实现图形转移。最后，通过一系列的清洗、蚀刻等工艺，芯片上的图形得以实现。
根据功能和用途的不同，光刻烤胶机可以分为接触式和非接触式两种类型。接触式光刻烤胶机主要适用于大尺寸的晶圆片，其优点是稳定性好、可靠性高；而非接触式光刻烤胶机则适用于小尺寸的晶圆片，其优点是操作简便、成本低。
光刻烤胶机广泛应用于半导体制造、集成电路制造、微电子器件制造等领域。随着科技的发展，光刻烤胶机的技术也在不断进步，例如采用激光照射技术进行图形转移、提高曝光速度等。这些新技术的应用为半导体产业的发展提供了有力支持。
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